VAMAS Surface Chemical Analysis Standard Data Transfer Format 1988 May 4
XI Ltd.
XI Spectral Data Processor
XI ASCII
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437 90 TOA
1
(after 20 sec 3KV ion etch of polished surface)
NORM
REGULAR
5
0
0
0
0
0
5
(after 20 sec 3KV ion etch of polished surface)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437 90 TOA
2003
5
10
14
57
25
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_1
data_1
-1
Binding energy
eV
1000
-1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
5
4.00E-06
0
0
0
0
2002
48
44349
0.0603073
0.288006
1365
0.288006
1418
0.287179
1356
0.286357
1340
0.285538
1351
0.284724
1298
0.283913
1268
0.283106
1372
0.282304
1345
0.281505
1334
0.28071
1359
0.279919
1331
0.279132
1320
0.278348
1389
0.277569
1437
0.276793
1478
0.276021
1383
0.275252
1360
0.274487
1431
0.273726
1479
0.272968
1532
0.272214
1573
0.271464
1596
0.270717
1541
0.269973
1502
0.269233
1473
0.268497
1450
0.267764
1454
0.267034
1440
0.266308
1407
0.265585
1429
0.264866
1378
0.26415
1380
0.263437
1374
0.262727
1373
0.262021
1432
0.261318
1425
0.260618
1314
0.259922
1367
0.259228
1276
0.258538
1356
0.257851
1360
0.257167
1369
0.256486
1334
0.255808
1334
0.255134
1331
0.254462
1337
0.253793
1336
0.253128
1409
0.252465
1450
0.251805
1414
0.251149
1382
0.250495
1380
0.249844
1442
0.249196
1465
0.248551
1450
0.247909
1474
0.247269
1409
0.246633
1445
0.245999
1472
0.245368
1399
0.24474
1411
0.244114
1439
0.243492
1474
0.242872
1476
0.242254
1445
0.24164
1405
0.241028
1431
0.240418
1500
0.239812
1470
0.239208
1492
0.238606
1522
0.238007
1523
0.237411
1507
0.236817
1547
0.236226
1476
0.235637
1571
0.235051
1527
0.234467
1562
0.233886
1496
0.233308
1507
0.232731
1609
0.232157
1581
0.231586
1576
0.231017
1567
0.23045
1576
0.229886
1573
0.229324
1577
0.228765
1564
0.228208
1654
0.227653
1640
0.2271
1644
0.22655
1639
0.226002
1635
0.225456
1629
0.224913
1653
0.224372
1721
0.223833
1578
0.223296
1701
0.222761
1731
0.222229
1707
0.221699
1668
0.221171
1706
0.220645
1709
0.220121
1753
0.219599
1722
0.21908
1733
0.218563
1674
0.218047
1698
0.217534
1697
0.217023
1798
0.216514
1764
0.216007
1757
0.215502
1718
0.214999
1849
0.214498
1728
0.213999
1797
0.213502
1822
0.213007
1747
0.212514
1778
0.212022
1785
0.211533
1775
0.211046
1780
0.210561
1868
0.210077
1893
0.209596
1817
0.209116
1865
0.208638
1831
0.208163
1900
0.207688
1935
0.207216
1941
0.206746
1921
0.206277
1902
0.205811
1877
0.205346
1971
0.204883
1942
0.204422
1994
0.203962
1917
0.203504
1971
0.203048
1979
0.202594
1978
0.202141
1879
0.201691
1894
0.201242
1993
0.200794
1929
0.200349
1999
0.199905
1942
0.199462
2035
0.199022
2034
0.198583
2053
0.198146
2047
0.19771
2069
0.197276
2019
0.196844
1972
0.196413
1983
0.195984
2068
0.195556
2051
0.19513
2057
0.194706
2024
0.194283
2082
0.193862
2098
0.193443
2065
0.193024
2096
0.192608
2130
0.192193
2066
0.19178
2131
0.191368
2074
0.190957
2077
0.190548
2119
0.190141
2164
0.189735
2117
0.189331
2156
0.188928
2146
0.188526
2217
0.188126
2100
0.187728
2189
0.18733
2090
0.186935
2160
0.18654
2230
0.186148
2169
0.185756
2215
0.185366
2271
0.184978
2180
0.18459
2207
0.184205
2308
0.18382
2268
0.183437
2194
0.183055
2231
0.182675
2246
0.182296
2391
0.181918
2292
0.181542
2342
0.181167
2293
0.180793
2281
0.180421
2258
0.18005
2284
0.17968
2357
0.179312
2313
0.178945
2377
0.178579
2377
0.178214
2373
0.177851
2443
0.177489
2382
0.177128
2335
0.176769
2420
0.176411
2479
0.176054
2430
0.175698
2469
0.175343
2422
0.17499
2432
0.174638
2520
0.174287
2413
0.173937
2510
0.173589
2432
0.173242
2504
0.172896
2519
0.172551
2587
0.172207
2586
0.171864
2592
0.171523
2575
0.171183
2610
0.170844
2516
0.170506
2602
0.170169
2516
0.169833
2569
0.169499
2717
0.169165
2707
0.168833
2632
0.168502
2596
0.168172
2616
0.167843
2588
0.167515
2688
0.167189
2651
0.166863
2592
0.166538
2680
0.166215
2779
0.165893
2756
0.165571
2715
0.165251
2784
0.164932
2706
0.164614
2727
0.164297
2709
0.163981
2695
0.163666
2723
0.163352
2778
0.163039
2784
0.162727
2779
0.162416
2790
0.162106
2782
0.161797
2786
0.161489
2845
0.161182
2776
0.160877
2926
0.160572
2846
0.160268
2854
0.159965
2767
0.159663
2862
0.159362
2861
0.159062
2886
0.158763
2862
0.158465
2902
0.158168
2912
0.157872
2890
0.157577
2970
0.157283
2957
0.156989
3021
0.156697
2919
0.156406
2919
0.156115
2926
0.155825
2929
0.155537
3065
0.155249
3044
0.154962
2917
0.154676
3066
0.154391
3089
0.154107
3044
0.153824
3068
0.153542
3116
0.15326
3028
0.15298
3099
0.1527
3090
0.152421
3060
0.152143
3129
0.151866
3195
0.15159
3219
0.151315
3123
0.15104
3063
0.150767
3262
0.150494
3221
0.150222
3197
0.149951
3180
0.149681
3133
0.149411
3237
0.149143
3196
0.148875
3228
0.148608
3216
0.148342
3246
0.148077
3257
0.147812
3261
0.147548
3244
0.147285
3373
0.147023
3336
0.146762
3238
0.146502
3470
0.146242
3336
0.145983
3465
0.145725
3382
0.145468
3357
0.145211
3323
0.144955
3357
0.1447
3443
0.144446
3431
0.144193
3378
0.14394
3467
0.143688
3409
0.143437
3469
0.143186
3488
0.142937
3511
0.142688
3469
0.142439
3483
0.142192
3567
0.141945
3573
0.141699
3470
0.141454
3583
0.141209
3485
0.140965
3585
0.140722
3502
0.14048
3631
0.140238
3516
0.139997
3564
0.139757
3637
0.139518
3699
0.139279
3551
0.139041
3661
0.138803
3621
0.138566
3660
0.13833
3635
0.138095
3736
0.13786
3662
0.137626
3787
0.137393
3685
0.13716
3691
0.136928
3742
0.136697
3764
0.136466
3798
0.136236
3697
0.136007
3818
0.135779
3745
0.135551
3642
0.135323
3785
0.135097
3744
0.134871
3777
0.134645
3905
0.13442
3898
0.134196
3955
0.133973
3751
0.13375
3966
0.133528
3964
0.133306
3942
0.133085
3899
0.132865
3867
0.132645
3846
0.132426
3954
0.132208
3855
0.13199
3899
0.131773
4012
0.131556
4085
0.13134
4038
0.131125
3988
0.13091
3966
0.130696
4006
0.130483
4010
0.13027
4155
0.130057
4072
0.129846
4075
0.129634
3956
0.129424
4139
0.129214
4100
0.129004
4175
0.128795
4013
0.128587
4163
0.12838
4226
0.128172
4318
0.127966
4185
0.12776
4232
0.127555
4320
0.12735
4234
0.127145
4206
0.126942
4071
0.126739
4115
0.126536
4285
0.126334
4404
0.126132
4247
0.125931
4342
0.125731
4372
0.125531
4322
0.125332
4364
0.125133
4317
0.124935
4327
0.124737
4388
0.12454
4410
0.124344
4348
0.124147
4420
0.123952
4354
0.123757
4427
0.123562
4452
0.123368
4524
0.123175
4470
0.122982
4476
0.12279
4424
0.122598
4582
0.122406
4484
0.122215
4640
0.122025
4513
0.121835
4530
0.121646
4618
0.121457
4529
0.121269
4630
0.121081
4652
0.120893
4730
0.120707
4669
0.12052
4626
0.120334
4682
0.120149
4579
0.119964
4819
0.11978
4776
0.119596
4678
0.119412
4638
0.119229
4715
0.119047
4802
0.118865
4849
0.118683
4883
0.118502
4902
0.118322
4823
0.118142
4903
0.117962
4862
0.117783
4838
0.117604
4770
0.117426
4860
0.117248
4858
0.117071
4909
0.116894
4898
0.116718
4923
0.116542
4837
0.116366
4977
0.116191
5039
0.116017
5044
0.115843
4935
0.115669
5091
0.115496
5021
0.115323
5071
0.115151
5123
0.114979
5036
0.114807
5128
0.114636
5133
0.114466
5049
0.114295
5050
0.114126
5072
0.113956
5066
0.113788
5047
0.113619
5081
0.113451
5015
0.113284
5100
0.113116
4966
0.11295
5077
0.112783
5307
0.112617
5825
0.112452
7140
0.112287
7759
0.112122
6221
0.111958
5130
0.111794
5112
0.111631
5070
0.111468
4994
0.111305
5012
0.111143
4963
0.110981
5019
0.11082
4979
0.110659
4997
0.110498
5050
0.110338
5145
0.110178
5125
0.110019
5081
0.10986
5126
0.109701
5075
0.109543
5150
0.109385
5166
0.109228
5118
0.109071
5194
0.108914
5180
0.108758
5268
0.108602
5200
0.108447
5030
0.108292
5133
0.108137
5192
0.107982
5128
0.107829
5268
0.107675
5274
0.107522
5248
0.107369
5377
0.107216
5355
0.107064
5305
0.106912
5405
0.106761
5321
0.10661
5443
0.106459
5450
0.106309
5347
0.106159
5287
0.10601
5398
0.105861
5454
0.105712
5480
0.105563
5496
0.105415
5389
0.105267
5519
0.10512
5554
0.104973
5480
0.104826
5453
0.10468
5594
0.104534
5611
0.104388
5534
0.104243
5552
0.104098
5570
0.103953
5449
0.103809
5560
0.103665
5692
0.103522
5728
0.103378
5667
0.103235
5712
0.103093
5613
0.102951
5711
0.102809
5784
0.102667
5645
0.102526
5778
0.102385
5781
0.102245
5757
0.102104
5742
0.101964
5861
0.101825
5878
0.101686
5704
0.101547
5911
0.101408
5910
0.10127
5733
0.101132
5898
0.100994
6019
0.100857
5974
0.10072
6078
0.100583
6041
0.100447
5807
0.100311
5860
0.100175
6000
0.10004
5865
0.0999048
6016
0.09977
6064
0.0996356
6038
0.0995014
6046
0.0993676
6094
0.099234
6122
0.0991008
6110
0.0989679
6180
0.0988353
5956
0.098703
6011
0.098571
6025
0.0984393
6070
0.0983079
5960
0.0981767
6139
0.0980459
6157
0.0979154
6135
0.0977852
6087
0.0976553
6182
0.0975257
6213
0.0973964
6291
0.0972674
6206
0.0971386
6208
0.0970102
6317
0.096882
6082
0.0967542
6222
0.0966266
6224
0.0964993
6225
0.0963723
6431
0.0962456
6297
0.0961192
6372
0.095993
6385
0.0958672
6563
0.0957416
6522
0.0956163
6498
0.0954913
6524
0.0953666
6406
0.0952421
6655
0.095118
6642
0.0949941
6573
0.0948704
6489
0.0947471
6536
0.094624
6390
0.0945012
6485
0.0943787
6617
0.0942564
6655
0.0941345
6601
0.0940128
6645
0.0938913
6725
0.0937701
6696
0.0936492
6739
0.0935286
6704
0.0934082
7060
0.0932881
7028
0.0931683
6754
0.0930487
6841
0.0929294
6711
0.0928103
6720
0.0926915
6808
0.092573
6929
0.0924547
6803
0.0923367
6910
0.092219
7014
0.0921015
6910
0.0919842
6918
0.0918672
7012
0.0917505
7045
0.091634
7106
0.0915178
7145
0.0914018
7051
0.0912861
7116
0.0911707
7159
0.0910554
7253
0.0909405
7107
0.0908257
7207
0.0907113
7262
0.090597
7406
0.0904831
7246
0.0903693
7276
0.0902558
7212
0.0901426
7427
0.0900296
7469
0.0899168
7639
0.0898043
7288
0.089692
7295
0.08958
7361
0.0894682
7347
0.0893567
7550
0.0892453
7495
0.0891343
7582
0.0890234
7598
0.0889128
7586
0.0888024
7669
0.0886923
7979
0.0885824
7873
0.0884727
7768
0.0883633
7822
0.0882541
7663
0.0881451
7825
0.0880364
7767
0.0879279
7807
0.0878196
7699
0.0877115
7978
0.0876037
7925
0.0874961
7939
0.0873887
8023
0.0872815
8013
0.0871746
7957
0.0870679
8075
0.0869614
7999
0.0868552
8303
0.0867492
8292
0.0866434
8357
0.0865378
8436
0.0864324
8225
0.0863272
8471
0.0862223
8159
0.0861176
8209
0.0860131
8082
0.0859088
7978
0.0858048
7966
0.0857009
7976
0.0855973
7875
0.0854939
7904
0.0853907
8075
0.0852877
8070
0.0851849
8198
0.0850824
8592
0.08498
9185
0.0848779
10548
0.0847759
10492
0.0846742
9436
0.0845727
8601
0.0844714
8524
0.0843703
8068
0.0842694
8034
0.0841688
7996
0.0840683
8067
0.083968
8091
0.0838679
7881
0.0837681
7972
0.0836684
8007
0.083569
7968
0.0834697
7977
0.0833707
8179
0.0832718
8247
0.0831732
7969
0.0830747
8076
0.0829765
8269
0.0828784
8299
0.0827806
8225
0.0826829
8238
0.0825855
8548
0.0824882
8357
0.0823912
8362
0.0822943
8317
0.0821976
8374
0.0821012
8508
0.0820049
8295
0.0819088
8294
0.0818129
8490
0.0817172
8665
0.0816217
8450
0.0815264
8763
0.0814312
8688
0.0813363
8783
0.0812415
9117
0.081147
9304
0.0810526
8885
0.0809584
8766
0.0808644
8763
0.0807706
8885
0.080677
8850
0.0805835
8866
0.0804903
8880
0.0803972
8856
0.0803043
8860
0.0802116
9016
0.0801191
9004
0.0800268
9005
0.0799346
8784
0.0798427
9042
0.0797509
8979
0.0796593
9149
0.0795678
9086
0.0794766
9034
0.0793855
9149
0.0792946
9505
0.0792039
9988
0.0791134
9989
0.079023
9964
0.0789329
9751
0.0788429
9683
0.078753
9358
0.0786634
9260
0.0785739
9014
0.0784846
9114
0.0783955
8640
0.0783065
8763
0.0782177
8655
0.0781291
8696
0.0780407
8713
0.0779524
8775
0.0778643
8895
0.0777764
9591
0.0776886
12513
0.0776011
12244
0.0775136
15476
0.0774264
13755
0.0773393
9337
0.0772524
8723
0.0771657
8661
0.0770791
8705
0.0769927
8643
0.0769064
8768
0.0768203
8701
0.0767344
8723
0.0766487
8837
0.0765631
8885
0.0764777
8920
0.0763924
8857
0.0763073
8846
0.0762224
8975
0.0761376
9072
0.076053
8941
0.0759685
9015
0.0758842
9172
0.0758001
9355
0.0757162
9245
0.0756323
9239
0.0755487
9294
0.0754652
9617
0.0753819
9379
0.0752987
9373
0.0752157
9475
0.0751328
9506
0.0750501
9557
0.0749675
9456
0.0748852
9781
0.0748029
9802
0.0747208
9813
0.0746389
10089
0.0745571
9995
0.0744755
10035
0.074394
10354
0.0743127
10492
0.0742315
10416
0.0741505
10664
0.0740697
10648
0.073989
10681
0.0739084
10735
0.073828
10467
0.0737477
10417
0.0736676
10407
0.0735877
10633
0.0735078
10452
0.0734282
10700
0.0733487
10651
0.0732693
10968
0.0731901
11091
0.073111
11331
0.0730321
11665
0.0729533
11844
0.0728746
12035
0.0727961
12288
0.0727178
12540
0.0726396
12327
0.0725615
11951
0.0724836
11785
0.0724059
11462
0.0723282
11251
0.0722507
11315
0.0721734
11060
0.0720962
11138
0.0720191
11321
0.0719422
11396
0.0718654
11698
0.0717888
12460
0.0717123
13004
0.0716359
14113
0.0715597
15609
0.0714836
16708
0.0714077
16699
0.0713319
15869
0.0712562
14354
0.0711807
12876
0.0711053
11964
0.07103
11229
0.0709549
10624
0.0708799
10117
0.0708051
9899
0.0707304
9616
0.0706558
9352
0.0705814
9357
0.0705071
9629
0.0704329
10078
0.0703588
11359
0.0702849
15434
0.0702112
30545
0.0701375
44349
0.070064
24188
0.0699906
10961
0.0699174
8099
0.0698443
7239
0.0697713
6600
0.0696984
6329
0.0696257
6294
0.0695531
6136
0.0694807
5884
0.0694083
5984
0.0693361
6003
0.0692641
6374
0.0691921
6551
0.0691203
6742
0.0690486
6909
0.068977
7310
0.0689056
7331
0.0688343
7031
0.0687631
6898
0.0686921
6485
0.0686211
6336
0.0685503
6065
0.0684796
5832
0.0684091
5685
0.0683386
5612
0.0682683
5616
0.0681982
5759
0.0681281
5938
0.0680582
6294
0.0679883
6906
0.0679187
7805
0.0678491
8850
0.0677796
10242
0.0677103
10637
0.0676411
9924
0.067572
7988
0.0675031
6803
0.0674342
5972
0.0673655
5175
0.0672969
4722
0.0672284
4308
0.0671601
4028
0.0670918
3595
0.0670237
3417
0.0669557
3321
0.0668878
3139
0.06682
3350
0.0667524
3355
0.0666849
4711
0.0666174
15730
0.0665501
41337
0.066483
21729
0.0664159
2553
0.0663489
1113
0.0662821
872
0.0662154
818
0.0661488
687
0.0660823
637
0.0660159
619
0.0659496
615
0.0658835
593
0.0658175
619
0.0657515
579
0.0656857
583
0.06562
643
0.0655545
638
0.065489
599
0.0654236
613
0.0653584
611
0.0652932
646
0.0652282
627
0.0651633
647
0.0650985
673
0.0650338
675
0.0649692
682
0.0649048
616
0.0648404
616
0.0647761
629
0.064712
646
0.064648
650
0.064584
668
0.0645202
684
0.0644565
713
0.0643929
628
0.0643294
704
0.064266
671
0.0642027
692
0.0641396
741
0.0640765
676
0.0640135
719
0.0639507
714
0.0638879
776
0.0638253
734
0.0637628
722
0.0637003
751
0.063638
789
0.0635758
736
0.0635136
806
0.0634516
756
0.0633897
704
0.0633279
750
0.0632662
776
0.0632046
781
0.0631431
787
0.0630817
810
0.0630204
808
0.0629592
876
0.0628981
877
0.0628371
913
0.0627762
912
0.0627155
910
0.0626548
906
0.0625942
847
0.0625337
842
0.0624733
879
0.062413
870
0.0623528
804
0.0622928
851
0.0622328
855
0.0621729
760
0.0621131
838
0.0620534
937
0.0619938
989
0.0619343
1069
0.0618749
1047
0.0618156
1103
0.0617564
1345
0.0616973
1542
0.0616383
1062
0.0615794
924
0.0615206
786
0.0614619
701
0.0614032
602
0.0613447
597
0.0612863
526
0.0612279
552
0.0611697
621
0.0611115
740
0.0610535
949
0.0609955
1368
0.0609377
1826
0.0608799
1535
0.0608222
1083
0.0607647
943
0.0607072
849
0.0606498
775
0.0605925
852
0.0605353
808
0.0604781
611
0.0604211
250
0.0603642
48
0.0603073
(after 20 sec 3KV ion etch of polished surface)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437 90 TOA
2003
5
10
14
57
28
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
156.73
1
0
0
1000
2000
55
0
data_2
data_2
-1
Binding energy
eV
40
-0.1
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
1002
13
4088
0.059744
0.0626548
1884
0.0626548
1844
0.0626487
1877
0.0626426
1776
0.0626366
1782
0.0626305
1840
0.0626245
1814
0.0626184
1830
0.0626124
1919
0.0626063
1756
0.0626002
1908
0.0625942
1852
0.0625881
1796
0.0625821
1848
0.062576
1764
0.06257
1775
0.0625639
1741
0.0625579
1738
0.0625518
1759
0.0625458
1808
0.0625397
1899
0.0625337
1792
0.0625277
1709
0.0625216
1845
0.0625156
1726
0.0625095
1802
0.0625035
1748
0.0624975
1777
0.0624914
1843
0.0624854
1715
0.0624793
1804
0.0624733
1769
0.0624673
1682
0.0624612
1747
0.0624552
1782
0.0624492
1654
0.0624432
1802
0.0624371
1686
0.0624311
1793
0.0624251
1725
0.0624191
1779
0.062413
1628
0.062407
1751
0.062401
1646
0.062395
1740
0.0623889
1616
0.0623829
1759
0.0623769
1778
0.0623709
1671
0.0623649
1703
0.0623589
1660
0.0623528
1676
0.0623468
1694
0.0623408
1658
0.0623348
1626
0.0623288
1590
0.0623228
1731
0.0623168
1719
0.0623108
1674
0.0623048
1666
0.0622988
1654
0.0622928
1693
0.0622868
1674
0.0622807
1680
0.0622747
1746
0.0622687
1667
0.0622627
1716
0.0622568
1724
0.0622508
1671
0.0622448
1687
0.0622388
1750
0.0622328
1753
0.0622268
1747
0.0622208
1683
0.0622148
1768
0.0622088
1734
0.0622028
1669
0.0621968
1772
0.0621908
1746
0.0621848
1695
0.0621789
1724
0.0621729
1696
0.0621669
1640
0.0621609
1683
0.0621549
1699
0.062149
1671
0.062143
1687
0.062137
1727
0.062131
1624
0.062125
1642
0.0621191
1696
0.0621131
1700
0.0621071
1698
0.0621011
1666
0.0620952
1635
0.0620892
1615
0.0620832
1657
0.0620773
1705
0.0620713
1632
0.0620653
1737
0.0620594
1666
0.0620534
1707
0.0620474
1702
0.0620415
1735
0.0620355
1664
0.0620295
1722
0.0620236
1689
0.0620176
1753
0.0620117
1717
0.0620057
1760
0.0619998
1831
0.0619938
1703
0.0619879
1879
0.0619819
1865
0.0619759
1875
0.06197
1924
0.061964
1872
0.0619581
1874
0.0619521
1933
0.0619462
1996
0.0619403
2029
0.0619343
1898
0.0619284
1960
0.0619224
2005
0.0619165
1999
0.0619105
2080
0.0619046
1998
0.0618987
1990
0.0618927
2056
0.0618868
1981
0.0618808
2101
0.0618749
2080
0.061869
2040
0.061863
2076
0.0618571
2118
0.0618512
2166
0.0618453
2151
0.0618393
2174
0.0618334
2122
0.0618275
2123
0.0618215
2190
0.0618156
2196
0.0618097
2270
0.0618038
2145
0.0617978
2181
0.0617919
2200
0.061786
2238
0.0617801
2137
0.0617742
2246
0.0617682
2214
0.0617623
2194
0.0617564
2268
0.0617505
2316
0.0617446
2183
0.0617387
2230
0.0617328
2251
0.0617268
2325
0.0617209
2251
0.061715
2330
0.0617091
2341
0.0617032
2480
0.0616973
2454
0.0616914
2556
0.0616855
2653
0.0616796
2753
0.0616737
2878
0.0616678
2982
0.0616619
3036
0.061656
3102
0.0616501
3240
0.0616442
3289
0.0616383
3344
0.0616324
3318
0.0616265
3329
0.0616206
3205
0.0616147
3035
0.0616088
3081
0.0616029
2955
0.061597
2747
0.0615912
2583
0.0615853
2648
0.0615794
2388
0.0615735
2332
0.0615676
2262
0.0615617
2117
0.0615558
2046
0.06155
2003
0.0615441
1903
0.0615382
1761
0.0615323
1862
0.0615264
1844
0.0615206
1754
0.0615147
1786
0.0615088
1735
0.0615029
1702
0.0614971
1798
0.0614912
1712
0.0614853
1717
0.0614795
1610
0.0614736
1674
0.0614677
1565
0.0614619
1561
0.061456
1560
0.0614501
1599
0.0614443
1619
0.0614384
1476
0.0614325
1557
0.0614267
1503
0.0614208
1532
0.0614149
1517
0.0614091
1531
0.0614032
1511
0.0613974
1412
0.0613915
1449
0.0613857
1395
0.0613798
1434
0.061374
1361
0.0613681
1436
0.0613622
1382
0.0613564
1318
0.0613506
1297
0.0613447
1310
0.0613389
1315
0.061333
1349
0.0613272
1257
0.0613213
1321
0.0613155
1250
0.0613096
1166
0.0613038
1226
0.0612979
1220
0.0612921
1225
0.0612863
1199
0.0612804
1173
0.0612746
1223
0.0612688
1190
0.0612629
1120
0.0612571
1135
0.0612513
1106
0.0612454
1085
0.0612396
1110
0.0612338
1108
0.0612279
1109
0.0612221
1122
0.0612163
1154
0.0612105
1134
0.0612046
1068
0.0611988
1092
0.061193
1047
0.0611872
1144
0.0611813
1020
0.0611755
1087
0.0611697
1092
0.0611639
1111
0.0611581
1085
0.0611522
1105
0.0611464
1085
0.0611406
1117
0.0611348
1129
0.061129
1113
0.0611232
1212
0.0611174
1116
0.0611115
1107
0.0611057
1168
0.0610999
1203
0.0610941
1220
0.0610883
1206
0.0610825
1117
0.0610767
1317
0.0610709
1289
0.0610651
1322
0.0610593
1321
0.0610535
1367
0.0610477
1431
0.0610419
1396
0.0610361
1479
0.0610303
1396
0.0610245
1542
0.0610187
1599
0.0610129
1511
0.0610071
1603
0.0610013
1710
0.0609955
1659
0.0609897
1746
0.060984
1742
0.0609782
1835
0.0609724
1828
0.0609666
1916
0.0609608
1955
0.060955
2073
0.0609492
2167
0.0609435
2208
0.0609377
2312
0.0609319
2462
0.0609261
2572
0.0609203
2613
0.0609146
2815
0.0609088
2979
0.060903
3114
0.0608972
3248
0.0608915
3421
0.0608857
3425
0.0608799
3594
0.0608741
3743
0.0608684
3859
0.0608626
3940
0.0608568
4003
0.0608511
4088
0.0608453
4040
0.0608395
3978
0.0608338
4049
0.060828
3782
0.0608222
3713
0.0608165
3597
0.0608107
3442
0.0608049
3280
0.0607992
3164
0.0607934
3057
0.0607877
2798
0.0607819
2772
0.0607762
2604
0.0607704
2589
0.0607647
2442
0.0607589
2313
0.0607531
2291
0.0607474
2263
0.0607416
2228
0.0607359
2155
0.0607301
2101
0.0607244
2008
0.0607187
2069
0.0607129
2006
0.0607072
2069
0.0607014
2067
0.0606957
1911
0.0606899
1928
0.0606842
1872
0.0606785
1835
0.0606727
1790
0.060667
1755
0.0606612
1770
0.0606555
1827
0.0606498
1713
0.060644
1695
0.0606383
1704
0.0606326
1705
0.0606268
1722
0.0606211
1693
0.0606154
1523
0.0606096
1596
0.0606039
1556
0.0605982
1517
0.0605925
1612
0.0605867
1498
0.060581
1486
0.0605753
1561
0.0605696
1427
0.0605639
1550
0.0605581
1555
0.0605524
1516
0.0605467
1482
0.060541
1490
0.0605353
1508
0.0605295
1609
0.0605238
1549
0.0605181
1587
0.0605124
1532
0.0605067
1608
0.060501
1559
0.0604953
1626
0.0604896
1604
0.0604838
1665
0.0604781
1593
0.0604724
1558
0.0604667
1531
0.060461
1535
0.0604553
1608
0.0604496
1558
0.0604439
1546
0.0604382
1572
0.0604325
1468
0.0604268
1437
0.0604211
1406
0.0604154
1322
0.0604097
1386
0.060404
1298
0.0603983
1207
0.0603926
1145
0.0603869
1043
0.0603813
952
0.0603756
934
0.0603699
757
0.0603642
697
0.0603585
625
0.0603528
578
0.0603471
491
0.0603414
440
0.0603358
368
0.0603301
324
0.0603244
266
0.0603187
192
0.060313
178
0.0603073
133
0.0603017
103
0.060296
91
0.0602903
85
0.0602846
71
0.060279
79
0.0602733
61
0.0602676
67
0.0602619
69
0.0602563
55
0.0602506
59
0.0602449
56
0.0602393
51
0.0602336
55
0.0602279
41
0.0602223
39
0.0602166
43
0.0602109
43
0.0602053
41
0.0601996
34
0.0601939
41
0.0601883
48
0.0601826
39
0.060177
38
0.0601713
36
0.0601656
33
0.06016
34
0.0601543
40
0.0601487
23
0.060143
41
0.0601374
27
0.0601317
31
0.0601261
30
0.0601204
37
0.0601148
26
0.0601091
30
0.0601035
27
0.0600978
24
0.0600922
34
0.0600865
25
0.0600809
32
0.0600753
25
0.0600696
26
0.060064
23
0.0600583
35
0.0600527
26
0.0600471
27
0.0600414
26
0.0600358
30
0.0600302
13
0.0600245
26
0.0600189
37
0.0600133
22
0.0600076
26
0.060002
30
0.0599964
22
0.0599907
24
0.0599851
23
0.0599795
28
0.0599738
26
0.0599682
24
0.0599626
25
0.059957
27
0.0599514
26
0.0599457
25
0.0599401
22
0.0599345
22
0.0599289
22
0.0599233
30
0.0599176
26
0.059912
23
0.0599064
29
0.0599008
21
0.0598952
21
0.0598896
30
0.059884
16
0.0598783
23
0.0598727
24
0.0598671
23
0.0598615
16
0.0598559
21
0.0598503
22
0.0598447
19
0.0598391
22
0.0598335
28
0.0598279
30
0.0598223
25
0.0598167
20
0.0598111
20
0.0598055
26
0.0597999
30
0.0597943
20
0.0597887
15
0.0597831
27
0.0597775
26
0.0597719
22
0.0597663
25
0.0597607
23
0.0597551
13
0.0597495
20
0.059744
(after 20 sec 3KV ion etch of polished surface)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437 90 TOA
2003
5
10
14
57
28
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_3
data_3
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
10
4.00E-06
0
0
0
0
402
301
24311
0.107612
0.10851
1303
0.10851
1312
0.108505
1393
0.108501
1371
0.108496
1358
0.108492
1301
0.108487
1342
0.108483
1303
0.108478
1313
0.108473
1302
0.108469
1345
0.108464
1260
0.10846
1333
0.108455
1287
0.108451
1370
0.108446
1301
0.108442
1315
0.108437
1236
0.108433
1302
0.108428
1278
0.108424
1293
0.108419
1274
0.108415
1276
0.10841
1306
0.108406
1252
0.108401
1277
0.108397
1297
0.108392
1202
0.108388
1300
0.108383
1287
0.108379
1256
0.108374
1214
0.10837
1290
0.108365
1179
0.108361
1249
0.108356
1198
0.108352
1248
0.108347
1263
0.108343
1214
0.108338
1248
0.108334
1234
0.108329
1185
0.108325
1276
0.10832
1253
0.108315
1242
0.108311
1207
0.108306
1270
0.108302
1210
0.108297
1294
0.108293
1232
0.108288
1230
0.108284
1258
0.108279
1202
0.108275
1217
0.10827
1197
0.108266
1228
0.108261
1200
0.108257
1180
0.108252
1224
0.108248
1187
0.108243
1239
0.108239
1216
0.108234
1232
0.10823
1191
0.108225
1266
0.108221
1178
0.108216
1162
0.108212
1152
0.108207
1188
0.108203
1162
0.108198
1220
0.108194
1172
0.108189
1187
0.108185
1155
0.10818
1181
0.108176
1285
0.108171
1200
0.108167
1222
0.108162
1175
0.108158
1250
0.108153
1205
0.108149
1180
0.108144
1173
0.10814
1208
0.108135
1230
0.108131
1202
0.108126
1162
0.108122
1212
0.108118
1180
0.108113
1155
0.108109
1214
0.108104
1182
0.1081
1238
0.108095
1253
0.108091
1218
0.108086
1177
0.108082
1182
0.108077
1296
0.108073
1268
0.108068
1294
0.108064
1303
0.108059
1306
0.108055
1301
0.10805
1303
0.108046
1334
0.108041
1354
0.108037
1295
0.108032
1311
0.108028
1354
0.108023
1376
0.108019
1505
0.108014
1537
0.10801
1509
0.108005
1590
0.108001
1562
0.107996
1610
0.107992
1744
0.107987
1765
0.107983
1838
0.107978
1888
0.107974
1918
0.107969
2053
0.107965
2174
0.107961
2331
0.107956
2423
0.107952
2524
0.107947
2789
0.107943
3020
0.107938
3324
0.107934
3529
0.107929
3996
0.107925
4341
0.10792
4919
0.107916
5530
0.107911
6146
0.107907
7249
0.107902
7950
0.107898
9048
0.107893
9970
0.107889
11002
0.107884
12122
0.10788
13520
0.107875
14610
0.107871
15922
0.107867
16817
0.107862
17921
0.107858
18929
0.107853
19553
0.107849
20651
0.107844
21614
0.10784
21763
0.107835
22536
0.107831
23502
0.107826
24126
0.107822
24265
0.107817
24277
0.107813
24311
0.107808
23801
0.107804
23254
0.107799
22261
0.107795
20649
0.107791
19366
0.107786
17670
0.107782
15611
0.107777
13455
0.107773
11732
0.107768
9992
0.107764
8199
0.107759
6609
0.107755
5268
0.10775
4243
0.107746
3411
0.107741
2736
0.107737
2123
0.107732
1774
0.107728
1458
0.107724
1205
0.107719
1081
0.107715
872
0.10771
799
0.107706
761
0.107701
682
0.107697
590
0.107692
604
0.107688
534
0.107683
534
0.107679
467
0.107675
495
0.10767
462
0.107666
411
0.107661
424
0.107657
384
0.107652
399
0.107648
362
0.107643
343
0.107639
386
0.107634
342
0.10763
327
0.107625
329
0.107621
332
0.107617
301
0.107612
(after 20 sec 3KV ion etch of polished surface)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437 90 TOA
2003
5
10
14
57
28
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
29.72
1
0
0
1000
2000
55
0
data_4
data_4
-1
Binding energy
eV
107
-0.05
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.2
20
4.00E-06
0
0
0
0
402
102
8844
0.143926
0.14497
446
0.14497
465
0.144964
418
0.144959
449
0.144954
491
0.144949
509
0.144943
507
0.144938
436
0.144933
483
0.144928
461
0.144922
464
0.144917
489
0.144912
457
0.144907
484
0.144901
474
0.144896
453
0.144891
442
0.144886
449
0.14488
468
0.144875
408
0.14487
417
0.144865
463
0.144859
463
0.144854
459
0.144849
458
0.144844
450
0.144838
443
0.144833
451
0.144828
417
0.144823
461
0.144817
412
0.144812
422
0.144807
427
0.144802
440
0.144796
446
0.144791
434
0.144786
460
0.144781
421
0.144775
395
0.14477
423
0.144765
420
0.14476
438
0.144754
439
0.144749
413
0.144744
455
0.144739
430
0.144734
435
0.144728
398
0.144723
418
0.144718
410
0.144713
413
0.144707
422
0.144702
394
0.144697
416
0.144692
363
0.144686
416
0.144681
434
0.144676
409
0.144671
451
0.144665
399
0.14466
419
0.144655
397
0.14465
396
0.144645
433
0.144639
431
0.144634
386
0.144629
391
0.144624
405
0.144618
364
0.144613
410
0.144608
367
0.144603
391
0.144597
415
0.144592
380
0.144587
404
0.144582
373
0.144577
388
0.144571
416
0.144566
392
0.144561
403
0.144556
362
0.14455
390
0.144545
431
0.14454
398
0.144535
408
0.14453
441
0.144524
394
0.144519
438
0.144514
394
0.144509
374
0.144503
421
0.144498
437
0.144493
436
0.144488
442
0.144483
490
0.144477
434
0.144472
415
0.144467
412
0.144462
393
0.144456
472
0.144451
465
0.144446
420
0.144441
421
0.144436
460
0.14443
470
0.144425
470
0.14442
474
0.144415
497
0.14441
504
0.144404
514
0.144399
470
0.144394
503
0.144389
513
0.144383
547
0.144378
557
0.144373
552
0.144368
520
0.144363
615
0.144357
619
0.144352
612
0.144347
712
0.144342
676
0.144337
717
0.144331
705
0.144326
780
0.144321
856
0.144316
910
0.144311
961
0.144305
1060
0.1443
1153
0.144295
1293
0.14429
1474
0.144285
1641
0.144279
1792
0.144274
2053
0.144269
2343
0.144264
2642
0.144259
3065
0.144253
3391
0.144248
3848
0.144243
4310
0.144238
5021
0.144233
5282
0.144227
5727
0.144222
6107
0.144217
6479
0.144212
6929
0.144207
7072
0.144201
7248
0.144196
7647
0.144191
7708
0.144186
8144
0.144181
8319
0.144175
8572
0.14417
8844
0.144165
8758
0.14416
8648
0.144155
8717
0.144149
8505
0.144144
8034
0.144139
7461
0.144134
6737
0.144129
5873
0.144123
5093
0.144118
4250
0.144113
3688
0.144108
2804
0.144103
2186
0.144097
1759
0.144092
1376
0.144087
981
0.144082
759
0.144077
586
0.144071
443
0.144066
365
0.144061
300
0.144056
273
0.144051
249
0.144046
193
0.14404
202
0.144035
177
0.14403
143
0.144025
124
0.14402
147
0.144014
135
0.144009
125
0.144004
112
0.143999
102
0.143994
123
0.143988
112
0.143983
120
0.143978
109
0.143973
117
0.143968
111
0.143963
105
0.143957
117
0.143952
126
0.143947
104
0.143942
111
0.143937
111
0.143931
116
0.143926
(after 20 sec 3KV ion etch of polished surface)
p-Si<111>  Mitsubishi lot# 280152-00-437 90 TOA
2003
5
10
14
57
28
0
0
XPS
X-RAY Source
1486.6
200
250
1000
55
90
FAT
55.09
1
0
0
1000
2000
55
0
data_5
data_5
-1
Binding energy
eV
290
-0.2
2
counts
d
Transmission
d
pulse counting
0.1
20
4.00E-06
0
0
0
0
2002
206
23980
0.106992
0.127804
3700
0.127804
3705
0.127779
3678
0.127755
3616
0.12773
3765
0.127705
3723
0.127681
3558
0.127656
3769
0.127632
3639
0.127607
3664
0.127583
3720
0.127558
3670
0.127534
3605
0.127509
3633
0.127485
3641
0.127461
3686
0.127436
3698
0.127412
3769
0.127387
3875
0.127363
3803
0.127338
3857
0.127314
3858
0.12729
3862
0.127265
3813
0.127241
3977
0.127217
4014
0.127192
4355
0.127168
4049
0.127144
4137
0.127119
4065
0.127095
4112
0.127071
3957
0.127046
3900
0.127022
4121
0.126998
4212
0.126973
4135
0.126949
4040
0.126925
3930
0.126901
3856
0.126876
3875
0.126852
3702
0.126828
3725
0.126804
3713
0.12678
3692
0.126755
3869
0.126731
3816
0.126707
3816
0.126683
3768
0.126659
3873
0.126635
3747
0.12661
3767
0.126586
3793
0.126562
3764
0.126538
3680
0.126514
3787
0.12649
3822
0.126466
3813
0.126442
3904
0.126418
3783
0.126394
3787
0.126369
3929
0.126345
3815
0.126321
3809
0.126297
3870
0.126273
3854
0.126249
3761
0.126225
3836
0.126201
3780
0.126177
3793
0.126153
3828
0.126129
3834
0.126105
3857
0.126081
3809
0.126058
3809
0.126034
3928
0.12601
3882
0.125986
3849
0.125962
3778
0.125938
3814
0.125914
3818
0.12589
3747
0.125866
3807
0.125842
3879
0.125819
3898
0.125795
3787
0.125771
3797
0.125747
3765
0.125723
3775
0.125699
3881
0.125676
3888
0.125652
3725
0.125628
3824
0.125604
3758
0.12558
3763
0.125557
3825
0.125533
3896
0.125509
3719
0.125485
3877
0.125462
3765
0.125438
3884
0.125414
3845
0.12539
3768
0.125367
3831
0.125343
3781
0.125319
3896
0.125296
3971
0.125272
3929
0.125248
3888
0.125225
3822
0.125201
3888
0.125177
3881
0.125154
3890
0.12513
3893
0.125107
3851
0.125083
3780
0.125059
3876
0.125036
3785
0.125012
3820
0.124989
3995
0.124965
3943
0.124942
3859
0.124918
3757
0.124894
3862
0.124871
3836
0.124847
3871
0.124824
3907
0.1248
3888
0.124777
3800
0.124753
3884
0.12473
3873
0.124707
3936
0.124683
4030
0.12466
3992
0.124636
4055
0.124613
3887
0.124589
4037
0.124566
4163
0.124542
3979
0.124519
4150
0.124496
4248
0.124472
4118
0.124449
4288
0.124426
4267
0.124402
4253
0.124379
4161
0.124355
4185
0.124332
4416
0.124309
4300
0.124285
4288
0.124262
4287
0.124239
4249
0.124216
4349
0.124192
4433
0.124169
4213
0.124146
4310
0.124122
4295
0.124099
4260
0.124076
4114
0.124053
4256
0.12403
4202
0.124006
4081
0.123983
4208
0.12396
4157
0.123937
4037
0.123913
4011
0.12389
4033
0.123867
3979
0.123844
4049
0.123821
3949
0.123798
3975
0.123775
3954
0.123751
4001
0.123728
3872
0.123705
4014
0.123682
3926
0.123659
3890
0.123636
3782
0.123613
3801
0.12359
3912
0.123567
3841
0.123544
3741
0.12352
3878
0.123497
3786
0.123474
3839
0.123451
3829
0.123428
3849
0.123405
3727
0.123382
3722
0.123359
3630
0.123336
3702
0.123313
3679
0.12329
3633
0.123267
3762
0.123244
3677
0.123222
3757
0.123199
3684
0.123176
3679
0.123153
3665
0.12313
3683
0.123107
3729
0.123084
3587
0.123061
3754
0.123038
3611
0.123015
3690
0.122992
3560
0.12297
3548
0.122947
3743
0.122924
3556
0.122901
3618
0.122878
3717
0.122855
3789
0.122833
3653
0.12281
3661
0.122787
3561
0.122764
3672
0.122741
3681
0.122719
3698
0.122696
3615
0.122673
3634
0.12265
3709
0.122628
3631
0.122605
3642
0.122582
3762
0.122559
3895
0.122537
4042
0.122514
4804
0.122491
5432
0.122469
5885
0.122446
6140
0.122423
5934
0.122401
5714
0.122378
5154
0.122355
4595
0.122333
4308
0.12231
4316
0.122287
5164
0.122265
6202
0.122242
7334
0.12222
8105
0.122197
8236
0.122174
8172
0.122152
7287
0.122129
6190
0.122107
5048
0.122084
4123
0.122062
3791
0.122039
3769
0.122017
3572
0.121994
3667
0.121972
3606
0.121949
3738
0.121927
3614
0.121904
3590
0.121882
3683
0.121859
3676
0.121837
3595
0.121814
3520
0.121792
3681
0.121769
3584
0.121747
3694
0.121724
3633
0.121702
3608
0.12168
3601
0.121657
3520
0.121635
3565
0.121612
3489
0.12159
3641
0.121568
3702
0.121545
3617
0.121523
3620
0.121501
3565
0.121478
3655
0.121456
3674
0.121434
3657
0.121411
3631
0.121389
3670
0.121367
3606
0.121344
3566
0.121322
3588
0.1213
3699
0.121277
3738
0.121255
3574
0.121233
3544
0.121211
3640
0.121188
3624
0.121166
3791
0.121144
3692
0.121122
3621
0.121099
3724
0.121077
3601
0.121055
3600
0.121033
3624
0.121011
3685
0.120989
3664
0.120966
3719
0.120944
3756
0.120922
3665
0.1209
3854
0.120878
3725
0.120856
3729
0.120834
3559
0.120811
3777
0.120789
3713
0.120767
3707
0.120745
3742
0.120723
3805
0.120701
3702
0.120679
3706
0.120657
3668
0.120635
3733
0.120613
3692
0.120591
3726
0.120569
3788
0.120547
3798
0.120525
3897
0.120503
3620
0.120481
3781
0.120459
3719
0.120437
3703
0.120415
3741
0.120393
3849
0.120371
3776
0.120349
3912
0.120327
3849
0.120305
3852
0.120283
3757
0.120261
3872
0.120239
3857
0.120217
3850
0.120195
3705
0.120173
3875
0.120151
3980
0.12013
3839
0.120108
3751
0.120086
3902
0.120064
3844
0.120042
3793
0.12002
3874
0.119998
3890
0.119977
3844
0.119955
3904
0.119933
3885
0.119911
3890
0.119889
3847
0.119867
3812
0.119846
3905
0.119824
3960
0.119802
3991
0.11978
3796
0.119759
3809
0.119737
3880
0.119715
3946
0.119693
4017
0.119672
3914
0.11965
3981
0.119628
3875
0.119607
3960
0.119585
3956
0.119563
3856
0.119541
3974
0.11952
3847
0.119498
4075
0.119476
3945
0.119455
3877
0.119433
3912
0.119412
3908
0.11939
3981
0.119368
3869
0.119347
3833
0.119325
3986
0.119303
3903
0.119282
3990
0.11926
4030
0.119239
3821
0.119217
3810
0.119196
3997
0.119174
3931
0.119152
3965
0.119131
3960
0.119109
4075
0.119088
3872
0.119066
4037
0.119045
4022
0.119023
3991
0.119002
4130
0.11898
3994
0.118959
4013
0.118937
3896
0.118916
3968
0.118894
4015
0.118873
4044
0.118851
3884
0.11883
4087
0.118809
3891
0.118787
3941
0.118766
4055
0.118744
3996
0.118723
3942
0.118702
4047
0.11868
4019
0.118659
4178
0.118637
4049
0.118616
4002
0.118595
4038
0.118573
4043
0.118552
4001
0.118531
4066
0.118509
4078
0.118488
3961
0.118467
4039
0.118445
3982
0.118424
4094
0.118403
4138
0.118381
4167
0.11836
4116
0.118339
4136
0.118318
4153
0.118296
4269
0.118275
4252
0.118254
4236
0.118233
4241
0.118211
4156
0.11819
4295
0.118169
4216
0.118148
4322
0.118126
4269
0.118105
4160
0.118084
4230
0.118063
4408
0.118042
4241
0.118021
4371
0.117999
4322
0.117978
4197
0.117957
4335
0.117936
4269
0.117915
4294
0.117894
4281
0.117873
4239
0.117851
4302
0.11783
4399
0.117809
4372
0.117788
4146
0.117767
4370
0.117746
4370
0.117725
4480
0.117704
4359
0.117683
4430
0.117662
4285
0.117641
4426
0.11762
4375
0.117599
4316
0.117578
4292
0.117557
4370
0.117536
4441
0.117515
4386
0.117494
4413
0.117473
4398
0.117452
4400
0.117431
4302
0.11741
4302
0.117389
4364
0.117368
4329
0.117347
4257
0.117326
4124
0.117305
4280
0.117284
4249
0.117263
4340
0.117242
4244
0.117221
4295
0.1172
4331
0.117179
4285
0.117159
4390
0.117138
4308
0.117117
4276
0.117096
4330
0.117075
4231
0.117054
4372
0.117033
4332
0.117013
4420
0.116992
4345
0.116971
4202
0.11695
4345
0.116929
4386
0.116909
4298
0.116888
4380
0.116867
4347
0.116846
4366
0.116825
4297
0.116805
4364
0.116784
4411
0.116763
4281
0.116742
4506
0.116722
4475
0.116701
4584
0.11668
4535
0.116659
4557
0.116639
4521
0.116618
4592
0.116597
4551
0.116577
4574
0.116556
4599
0.116535
4645
0.116515
4679
0.116494
4558
0.116473
4637
0.116453
4642
0.116432
4746
0.116411
4628
0.116391
4762
0.11637
4789
0.11635
4752
0.116329
4916
0.116308
4862
0.116288
4767
0.116267
5066
0.116247
4934
0.116226
4995
0.116205
4975
0.116185
4971
0.116164
4993
0.116144
5009
0.116123
4964
0.116103
5124
0.116082
5017
0.116062
4993
0.116041
5002
0.116021
5056
0.116
5070
0.11598
4959
0.115959
5148
0.115939
5067
0.115918
4973
0.115898
4941
0.115877
4968
0.115857
5066
0.115836
4975
0.115816
4913
0.115796
4880
0.115775
5018
0.115755
4955
0.115734
4866
0.115714
4840
0.115693
4906
0.115673
4847
0.115653
4892
0.115632
4817
0.115612
4643
0.115592
4734
0.115571
4601
0.115551
4549
0.115531
4561
0.11551
4640
0.11549
4530
0.11547
4629
0.115449
4482
0.115429
4624
0.115409
4616
0.115388
4419
0.115368
4514
0.115348
4563
0.115328
4499
0.115307
4537
0.115287
4407
0.115267
4746
0.115246
4477
0.115226
4608
0.115206
4670
0.115186
4488
0.115166
4575
0.115145
4558
0.115125
4550
0.115105
4458
0.115085
4402
0.115065
4534
0.115044
4710
0.115024
4572
0.115004
4600
0.114984
4626
0.114964
4646
0.114944
4695
0.114923
4756
0.114903
4624
0.114883
4699
0.114863
4830
0.114843
4806
0.114823
4947
0.114803
4819
0.114783
4981
0.114762
4856
0.114742
5073
0.114722
5061
0.114702
5091
0.114682
5228
0.114662
5201
0.114642
5415
0.114622
5497
0.114602
5637
0.114582
5553
0.114562
5721
0.114542
5947
0.114522
5997
0.114502
6174
0.114482
6108
0.114462
6299
0.114442
6469
0.114422
6520
0.114402
6686
0.114382
6765
0.114362
6798
0.114342
6877
0.114322
6788
0.114302
6921
0.114282
7000
0.114262
6790
0.114242
6904
0.114222
6713
0.114203
6490
0.114183
6294
0.114163
6288
0.114143
6256
0.114123
5762
0.114103
5739
0.114083
5872
0.114063
5635
0.114044
5522
0.114024
5282
0.114004
5144
0.113984
5015
0.113964
4939
0.113944
4998
0.113925
4767
0.113905
4686
0.113885
4737
0.113865
4720
0.113845
4644
0.113826
4658
0.113806
4539
0.113786
4410
0.113766
4317
0.113746
4343
0.113727
4367
0.113707
4330
0.113687
4133
0.113667
4179
0.113648
4145
0.113628
4151
0.113608
3972
0.113589
4028
0.113569
4023
0.113549
3984
0.11353
3905
0.11351
3857
0.11349
3917
0.11347
3859
0.113451
3745
0.113431
3817
0.113412
3770
0.113392
3860
0.113372
3740
0.113353
3783
0.113333
3800
0.113313
3735
0.113294
3775
0.113274
3773
0.113255
3747
0.113235
3901
0.113215
3687
0.113196
3757
0.113176
3862
0.113157
3860
0.113137
3709
0.113118
3854
0.113098
3822
0.113078
3902
0.113059
3763
0.113039
3822
0.11302
3882
0.113
4068
0.112981
4072
0.112961
4098
0.112942
4126
0.112922
4354
0.112903
4438
0.112883
4416
0.112864
4754
0.112844
4930
0.112825
5177
0.112805
5441
0.112786
6085
0.112767
6897
0.112747
7733
0.112728
8911
0.112708
10818
0.112689
13331
0.112669
16841
0.11265
20069
0.112631
22466
0.112611
23343
0.112592
21592
0.112572
18091
0.112553
13994
0.112534
10659
0.112514
8358
0.112495
6747
0.112476
5504
0.112456
4703
0.112437
4398
0.112418
3894
0.112398
3660
0.112379
3510
0.11236
3334
0.11234
3139
0.112321
3036
0.112302
2938
0.112283
2846
0.112263
2858
0.112244
2673
0.112225
2762
0.112205
2681
0.112186
2604
0.112167
2628
0.112148
2605
0.112128
2451
0.112109
2488
0.11209
2608
0.112071
2469
0.112052
2454
0.112032
2417
0.112013
2487
0.111994
2483
0.111975
2441
0.111956
2417
0.111936
2366
0.111917
2363
0.111898
2409
0.111879
2447
0.11186
2439
0.111841
2357
0.111822
2376
0.111802
2349
0.111783
2485
0.111764
2428
0.111745
2377
0.111726
2434
0.111707
2361
0.111688
2392
0.111669
2413
0.11165
2312
0.11163
2391
0.111611
2334
0.111592
2365
0.111573
2422
0.111554
2457
0.111535
2470
0.111516
2415
0.111497
2474
0.111478
2533
0.111459
2529
0.11144
2512
0.111421
2522
0.111402
2546
0.111383
2573
0.111364
2544
0.111345
2598
0.111326
2687
0.111307
2676
0.111288
2668
0.111269
2705
0.11125
2629
0.111231
2680
0.111212
2722
0.111193
2748
0.111174
2775
0.111155
2753
0.111137
2752
0.111118
2767
0.111099
2888
0.11108
2829
0.111061
2799
0.111042
2882
0.111023
2919
0.111004
3046
0.110985
2853
0.110967
2800
0.110948
2932
0.110929
2861
0.11091
2826
0.110891
2852
0.110872
2796
0.110853
2664
0.110835
2772
0.110816
2815
0.110797
2748
0.110778
2755
0.110759
2617
0.110741
2633
0.110722
2633
0.110703
2678
0.110684
2538
0.110665
2508
0.110647
2475
0.110628
2481
0.110609
2539
0.11059
2486
0.110572
2455
0.110553
2475
0.110534
2451
0.110516
2412
0.110497
2419
0.110478
2323
0.110459
2266
0.110441
2292
0.110422
2273
0.110403
2396
0.110385
2263
0.110366
2298
0.110347
2285
0.110329
2202
0.11031
2268
0.110291
2193
0.110273
2216
0.110254
2311
0.110235
2156
0.110217
2269
0.110198
2254
0.11018
2207
0.110161
2263
0.110142
2207
0.110124
2233
0.110105
2148
0.110087
2199
0.110068
2269
0.110049
2292
0.110031
2308
0.110012
2344
0.109994
2382
0.109975
2344
0.109957
2276
0.109938
2288
0.109919
2328
0.109901
2374
0.109882
2456
0.109864
2445
0.109845
2447
0.109827
2522
0.109808
2611
0.10979
2689
0.109771
2651
0.109753
2751
0.109734
2790
0.109716
2862
0.109698
2937
0.109679
3068
0.109661
3151
0.109642
3216
0.109624
3257
0.109605
3458
0.109587
3569
0.109568
3652
0.10955
3784
0.109532
3905
0.109513
3926
0.109495
4149
0.109476
4154
0.109458
4373
0.10944
4380
0.109421
4275
0.109403
4415
0.109385
4200
0.109366
4265
0.109348
4223
0.109329
3976
0.109311
3934
0.109293
3785
0.109274
3587
0.109256
3503
0.109238
3281
0.109219
3165
0.109201
3138
0.109183
2898
0.109165
2716
0.109146
2764
0.109128
2628
0.10911
2591
0.109091
2433
0.109073
2289
0.109055
2281
0.109037
2176
0.109018
2160
0.109
2133
0.108982
2008
0.108964
2008
0.108945
1995
0.108927
1885
0.108909
1863
0.108891
1857
0.108873
1837
0.108854
1758
0.108836
1727
0.108818
1676
0.1088
1648
0.108782
1651
0.108763
1700
0.108745
1674
0.108727
1568
0.108709
1579
0.108691
1529
0.108673
1546
0.108655
1479
0.108636
1447
0.108618
1470
0.1086
1470
0.108582
1462
0.108564
1454
0.108546
1322
0.108528
1400
0.10851
1400
0.108492
1308
0.108473
1312
0.108455
1285
0.108437
1329
0.108419
1384
0.108401
1288
0.108383
1256
0.108365
1240
0.108347
1305
0.108329
1212
0.108311
1297
0.108293
1257
0.108275
1231
0.108257
1220
0.108239
1195
0.108221
1286
0.108203
1240
0.108185
1238
0.108167
1246
0.108149
1242
0.108131
1258
0.108113
1329
0.108095
1347
0.108077
1425
0.108059
1444
0.108041
1614
0.108023
1615
0.108005
1905
0.107987
2257
0.107969
2826
0.107952
3859
0.107934
5844
0.107916
9453
0.107898
13702
0.10788
17925
0.107862
21825
0.107844
23980
0.107826
23600
0.107808
18542
0.107791
11060
0.107773
5234
0.107755
2106
0.107737
1039
0.107719
731
0.107701
509
0.107683
448
0.107666
392
0.107648
313
0.10763
318
0.107612
288
0.107594
227
0.107577
293
0.107559
252
0.107541
265
0.107523
247
0.107505
240
0.107488
224
0.10747
238
0.107452
225
0.107434
223
0.107417
211
0.107399
233
0.107381
231
0.107363
233
0.107346
233
0.107328
206
0.10731
231
0.107292
249
0.107275
254
0.107257
245
0.107239
259
0.107222
223
0.107204
210
0.107186
237
0.107169
236
0.107151
255
0.107133
237
0.107116
230
0.107098
238
0.10708
220
0.107063
236
0.107045
233
0.107027
241
0.10701
228
0.106992
end of experiment
